-
experimental evaluation of the effect of pad debris size on microscratches during cmp process
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 867
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
polishing debris generated by pad surface conditioning has been suspected as a major source of microscratches in the chemical–mechanical planarization (cmp) process. in this study, we investigated the pad debris generated by an in situ conditioning process during oxide cmp as one of the major scratch sources. we evaluated the relationship between the size of pad debris and the shape of microscratches on a wafer to find the cause of scratches. pad debris was gathered in real time during the polishing process. then, by transmission electron microscopy we observed a mixed layer of pad material and abrasive particles on the surface of the pad debris and the pad surface, which hardened the pad debris and pad surface. the results reveal a size range of pad debris that led to a minimum scratch count. pad debris size smaller or larger than the minimum scratch region seems to cause higher scratch count due to the hardened pad surface and pad debris.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
بررسی اثر پارامترهای سطوح مشترک بر رفتار دیوارهای حایل سنگ چین با استفاده از روش اجزا منفصل
-
اثرات کوتاه و طولانی مدت عصاره پرسیاوشان روی هموگلوبین، هماتوکریت، حجم گلبول های قرمز، زمان پروترومبین و زمان ترومبوپلاستین
-
بررسی جهش هاى نادر ژن بتاگلوبین در شمال غرب کشور
-
simulation of polycrystal deformation with grain and grain boundary effects
-
determination of mechanical properties of soft tissue scaffolds by atomic force microscopy nanoindentation
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
نقش حسابداری مدیریت استراتژیک در عملکرد سازمانی (مطالعه موردی : هتل های 5 ستاره شهر تهران)
-
طراحی الگوی سقف شیشه ای با رویکرد نظریه داده بنیاد
-
بررسی عوامل موثر مدل سازی فرآیندهای کسب و کار(bpm) در قالب چارچوب itil جهت ارتقای هوش تجاری (bi) در سازمان تامین اجتماعی تهران
-
نقش ویژگی های کمیته حسابرسی بر رابطه بین انطباق مالیاتی و هموارسازی سود
-
بررسی ارتباط بین ضعف کنترل های داخلی و همزمانی قیمت سهام در شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران: تبیین نقش تعدیلگر ویژگی های هیئت مدیره
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :