-
ion-implantation-induced damage characteristics within aln and si for gan-on-si epitaxy
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 970
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
a systematic study was conducted to further understand the physical origin of stress modification in ain overgrown on si(111) upon ion implantation and annealing. implantation parameters including ion size, energy, dosage, and current density were varied, and their effects on the amorphization process in si(111) substrates were examined. the creation of a thick (>120 nm) amorphous si (a-si) layer was previously shown to result in isolation of an epitaxial ain film grown on a si(111) substrate through implantation-induced amorphization of the substrate, and this mechanical isolation resulted in stress dilution in the ain layer. results show that implanting at current density of 2 ma/cm2allows for only a thin amorphous layer to be created because of the effects of dynamic annealing, which simultaneously eliminates any damage created from the ion implantation, regardless of ion species, dosage, and energy. lowering the current density to 0.2 ma/cm2 does create a thick a-si layer; however, the amorphization disappears during a high-temperature (ht) anneal. lowering the current further to 0.2 μa/cm2 creates a thick a-si layer that can be maintained through a ht anneal, with this difference arising from the interfacial quality of the a-si and crystalline si (c-si) boundary.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
مقایسه اثر بریس عملکردی و گچ گیری کوتاه ساق بر متغیرهای راه رفتن در افراد مبتلا به کشیدگی درجه 2 و 3 مجموعه لیگامانی خارجی مچ پا
-
اثر موتاژن شیمیایی ems بر تبادلات گازی و فلورسانس کلروفیل در توده محلی گل گاو زبان ایرانی echium amoenum fisch.& c.a. mey.
-
numerical analysis of inclined micropiles behavior under seismic load
-
on the optimal frame-length configuration on real passive rfid systems
-
effects of ultrasonic waves on the heat transfer enhancement in subcooled boiling
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
توانمندی های بوم گردی در روستاهای تاریخی ایران؛ مطالعه موردی روستای چِشام در استان خراسان رضوی
-
طراحی مجتمع تجاری اقامتی در جهت افزایش حس تعلق شهروندان و گردشگران با تاکید به نماد و نشانه های بومی شهرستان آستارا
-
نگاهی حقوقی به پیدایش جرایم رایانه ای
-
بررسی عوامل موثر بر سلامت و نشاط اجتماعی در شهر درجزین
-
اثربخشی برنامه بازآموزی اسنادی بر کمک طلبی و تعلل ورزی تحصیلی دانش آموزان تیزهوش کم پیشرفت
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :