-
بررسی اثر دمای بازپخت بر تغییرات ساختاری لایه های نازک تانتالوم
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 684
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
در این پژوهش، دو نمونه لایه نازک نانتالوم به روش کند و پاش مغناطیسی جریان مستقیم استوانه ای، بر روی زیر لایه ی سیلیکون با جهت گیری کریستالی (400) و با زمان کند و پاش 1.5 دقیقه، تحت شرایط کاملا یکسان در حضور گاز آرگون تهیه گردید. سپس یک نمونه تحت بازپخت در دمای 750°c به مدت 45 دقیقه در کوره قرار گرفت. آنالیزهای پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی و آنالیز ضخامت سنجی نیز به ترتیب برای تشخیص جهت ترجیهی دانه ها، بررسی مورفولوژی سطح و ضخامت لایه های نازک قبل و پس از بازپخت استفاده شد. نتایج آنالیز پراش اشعه ایکس بیانگر شکل گیری فاز آمورف قبل از بازپخت و شکل گیری فاز β در دمای 750°c به مدت 45 دقیقه می باشد. این مطلب بیان می کند که دمای بازپخت در کریستاله شدن دانه ها نقش اساسی داشته است. همچنین آنالیز میکروسکوپ الکترونی روبشی، تشکیل فاز β (در دمای 750°c به مدت 45 دقیقه) با مرزبندی دانه ها و جوانه زنی فاز a نسبت به قبل از بازپخت را به خوبی نشان می دهد، این آنالیز همچنین بیان می کند افزایش دما (بازپخت) سبب نزدیک شدن و فشرده شدن نانو ساختارها شده است. آنالیز ضخامت سنجی (بیضی سنجی) بیان می کند ضخامت لایه ها قبل از بازپخت 15 نانومتر و پس از بازپخت به علت درشت شدن دانه ها ضخامت نیز به 52.11 نانومتر افزایش یافته است.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
کنترل فعال غیرخطی سازه های بتنی مسلح با استفاده از محرک جرمی فعال
-
صدای خاموش راهکارهایی برای غلبه بر کمرویی
-
بررسی دسته ای از نامساوی های معتبر برای مساله پستچی چینی با سود بیشینه
-
طراحی دهکده توریستی تفریحی با رویکرد معماری دینامیک در اقلیم سرد و خشک منطقه آزاد ارس
-
determination of factor of safety against piping using scaled boundary finite-element method
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
رابطه بین سرمایه روانشناسی با رضایت و فرسودگی شغلی حسابداران در بخش عمومی
-
بررسی تاثیر سیکلونهای استوایی بر ریف های مرجانی: ارائه ویژگیهای مهم و اثرات زیست محیطی
-
ایفای دین توسط غیرمدیون از روی ناچاری با تأکید بر نظام حقوقی ایران و رویه قضایی
-
rapid performance evaluation of water supply services for strategic planning
-
an overview to the prose in the constitutional era and theffects on its translations
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :