محبوبترین نویسندگان :
نویسندگان مقالات پربازدید :
اولین همایش ملی نانوتکنولوژی مزایا و کاربردها
جزئیات رویداد
اینستاگرام تی پی بین
همایش ، رویداد ، ژورنال
حوزه های تحت پوشش رویداد

  • مطالعه ترکیب شیمیایی و خواص مکانیکی لایه های نازک اکسید زیر کونیم به صورت تابعی از فشار گاز اکسیژن

    نویسندگان :
    کلمات کلیدی :
    جزئیات بیشتر مقاله
    • تاریخ ارائه: 1392/12/02
    • تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/12/02
    • تعداد بازدید: 496
    • تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
    • شماره تماس دبیرخانه رویداد: -

    اکسید زیر کونیوم (zro2) به واسطه خواص برجسته ای نظیر سختی بالا، مقاومت به خوردگی و سایش مناسب و مقاومت شیمیایی قابل قبول در هر دو حالت کپه ای و لایه نازک از مواد پرکاربرد در صنعت و فناروی است. این تحقیق به مطالعه نانو ساختار، ترکیب شیمیایی و خواص مکانیکی لایه های نازک اسید زیر کونیوم تهیه شده به روش کندوپاش واکنشی مغناطیسی dc (به ضخامت (300 nm بر روی زیر لایه های سیلیکون در فشارهای مختلف گاز اکسیژن (3-15 sccm) می پردازد. نتایج نشان داد که افزایش فشار گاز اکسیژن تا 9 sccm سبب بهبود سختی نمونه ها شده در حالیکه پس از آن، افزایش فشار گاز اکسیژن اثر معکوس در سختی نمونه ها را دارد. تحلیل های ساختاری نشان داد که این رفتار به واسطه تغییرات در آهنگ انباشت، ناشی از تغییرات میزان اکسیژن در محفظه به هنگام لایه نشانی بود. بررسی های مکانیکی همچنین نشان داد که مدول الاستیک لایه ها با افزایش فشار گاز اکسیژن رابطه ای عکس دارد. مطالعه ترکیب شیمیایی نمونه ها با آنالیز edax انجام شده ثابت کرد که این رابطه معکوس به خاطر افزایش میزان اکسیژن در ساختار لایه ها است.

سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :

با انتخاب دکمه ثبت پرسش، موافقت خود را با قوانین انتشار محتوا در وبسایت تی پی بین اعلام می کنم
مقالات جدیدترین رویدادها
مقالات جدیدترین ژورنال ها