-
ion-implantation-induced damage characteristics within aln and si for gan-on-si epitaxy
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 1021
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
a systematic study was conducted to further understand the physical origin of stress modification in ain overgrown on si(111) upon ion implantation and annealing. implantation parameters including ion size, energy, dosage, and current density were varied, and their effects on the amorphization process in si(111) substrates were examined. the creation of a thick (>120 nm) amorphous si (a-si) layer was previously shown to result in isolation of an epitaxial ain film grown on a si(111) substrate through implantation-induced amorphization of the substrate, and this mechanical isolation resulted in stress dilution in the ain layer. results show that implanting at current density of 2 ma/cm2allows for only a thin amorphous layer to be created because of the effects of dynamic annealing, which simultaneously eliminates any damage created from the ion implantation, regardless of ion species, dosage, and energy. lowering the current density to 0.2 ma/cm2 does create a thick a-si layer; however, the amorphization disappears during a high-temperature (ht) anneal. lowering the current further to 0.2 μa/cm2 creates a thick a-si layer that can be maintained through a ht anneal, with this difference arising from the interfacial quality of the a-si and crystalline si (c-si) boundary.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
بررسی الگوهای معماری مدارس اسلامی ایران و مدارس عالی معاصر ایران (نمونه های موردی: مدرسه چهارباغ، دارالفنون و دبیرستان البرز)
-
kinetics of monosaccharide conversion in the presence of homogeneous bronsted acids
-
characterization and dye decolorization ability of an alkaline resistant and organic solvents tolerant laccase from bacillus licheniformis ls04
-
cabs, male drivers and midnight commuting: manufacturing respectability of the unmarried women agents of call centers in india
-
the need to use rigid procedures and replace them with flexible procedures
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
بررسی تاثیر بیش اطمینانی مدیران بر نگهداشت وجه نقد با تاکید بر نقش تعدیل کننده فرصت رشد
-
واکاوی و مدیریت نقش تعلق سازمانی در بهره وری و عملکرد کارکنان شرکت آپاداناسرام
-
بررسی تأثیر آموزش مشاوره تحصیلی گروهی بر افزایش مهارتهای تحصیلی و پیشرفت تحصیلی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه شهر ایلام
-
بررسی اثر استراتژی تجاری شرکتها بر خطر سقوط قیمت سهام
-
investigation the deformations of shahr e bijar dam during impoundment
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :