-
influence of anionic polyelectrolyte addition on ceria dispersion behavior for quartz chemical mechanical polishing
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 1084
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
in this study, the effect of anionic dispersant, poly(acrylic acid-co maleic acid) sodium salt on ceria (ceo2) slurry stability was investigated for quartz chemical mechanical polishing (cmp) applications. the properties of the ceria slurry, including ph, viscosity, and stability behavior as a function of dispersant concentrations (0.1, 1, 3 and 5 wt%), were characterized to identify optimized conditions for the polishing process. with the addition of dispersant, the ph of ceria slurry increased to an alkaline regime which is compatible for quartz cmp processing while the viscosity sharply increased at 5 wt%. the stability results show that the slurry is stable only at 3 wt%, whereas the particles become agglomerated and settle quickly at all other dispersant concentrations. adsorption and electrokinetic behavior of the ceria slurry were measured to understand the ceria slurry behavior at various dispersant concentrations. at low concentrations, the dispersant does not protect the particles enough to overcome the van der waals attraction forces, whereas, at higher concentrations, particle agglomeration occurs due to bridging flocculation. at the optimum concentration, the dispersant provides enough steric hindrance to overcome the attractive force. in addition, the presence of sodium ions in the dispersant also strongly influences the settling behavior of ceria particles. the polishing test showed that the desired removal rate and surface quality could be achieved with the optimized slurry.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
بررسی رفتار ساختمان های بتن آرمه بهسازی شده با دیوارهای برشی آلومینیومی
-
ارزیابی درجه تراکم دانه بندی گسسته و پیوسته سنگدانه ها در حالت دو بعدی
-
بررسی طراحی بهینه و عملکرد لرزه ای میراگرهای ویسکوز الحاقی در نواحی زلزله خیز
-
طرح دعاوی خصوصی از نظر ضمان قهری و ضررو زیان وارد در دادگاه های عمومی
-
بررسی نحوه طراحی و رتبه بندی سایت در سامانه leed و breeam و امکان سنجی آن با مقررات ملی ساختمان در ایران
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
نقش صله رحم در سلامت جسمی و روحی خانواده با تمرکز بر گزاره های اسلامی
-
بررسی تاثیر یارانه سفر بر توسعه گردشگری؛ مطالعه موردی: گردشگران شهر مشهد مقدس
-
evaluate the use of recycled asphalt pavement (rap) in the construction of roller compacted concret pavement (rcc)
-
the transformation of aesthetics in architecture from traditional to modern architecture: a case study of the yoruba (southwestern) region of nigeria
-
exploring in silico drug design and pharmacokinetics study for identification of potent antidepressant agents
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :