-
influence of anionic polyelectrolyte addition on ceria dispersion behavior for quartz chemical mechanical polishing
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 972
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
in this study, the effect of anionic dispersant, poly(acrylic acid-co maleic acid) sodium salt on ceria (ceo2) slurry stability was investigated for quartz chemical mechanical polishing (cmp) applications. the properties of the ceria slurry, including ph, viscosity, and stability behavior as a function of dispersant concentrations (0.1, 1, 3 and 5 wt%), were characterized to identify optimized conditions for the polishing process. with the addition of dispersant, the ph of ceria slurry increased to an alkaline regime which is compatible for quartz cmp processing while the viscosity sharply increased at 5 wt%. the stability results show that the slurry is stable only at 3 wt%, whereas the particles become agglomerated and settle quickly at all other dispersant concentrations. adsorption and electrokinetic behavior of the ceria slurry were measured to understand the ceria slurry behavior at various dispersant concentrations. at low concentrations, the dispersant does not protect the particles enough to overcome the van der waals attraction forces, whereas, at higher concentrations, particle agglomeration occurs due to bridging flocculation. at the optimum concentration, the dispersant provides enough steric hindrance to overcome the attractive force. in addition, the presence of sodium ions in the dispersant also strongly influences the settling behavior of ceria particles. the polishing test showed that the desired removal rate and surface quality could be achieved with the optimized slurry.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
باز زنده سازی تکیه دولت بارویکرد تجدید هنر و فرهنگ ایرانی در محله کهن تهران (بازار تهران)
-
بررسی پیامد احیای قلبی-ریوی و مغزی انجام شده در دپارتمان اورژانس بیمارستان حضرت رسول اکرم (ص) از تیرماه 1382 لغایت پایان اردیبهشت ماه 1383
-
اثربخشی درمان شناختی رفتاری گروهی بر اضطراب دانش آموزان دختر دبیرستان های شهر اصفهان
-
پیش بینی پدیده مخروطی شدن آب در یکی از میادین نفتی ایران با استفاده از روابط همبسته
-
استفاده از ترکیب نانوذرات tio2 و sio2 به منظور ایجاد بتن خود تمیز شونده با مقاومت بالا
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
بررسی بازده بازار ثانویه عرضه های اولیه سهام براساس شاخص بازار در بورس اوراق بهادار تهران از سال 1394-1389
-
ایجاد پیوند بین رفتارهای تعامل خدماتی کارکنان و مشتریان شرکت های بیمه از طریق انرژی ارتباطی و انسجام تعامل ادارک شده
-
گفتمان راهبردی عنصر «حق حاکمیت» درآمدی روش شناسانه برمیثاق قانون اساسی (رجحان رویکرد اصلاحی حاکمیت قانون)
-
جایگاه و نقش مردم در استقرار و استمرار نظام امت و امامت در پرتو آراء شهید بهشتی
-
بهره گیری از مصالح بومی–سنتی به منظور بهینه سازی مصرف انرژی حرارتی ساختمان، نمونه موردی: بافت مسکونی-تاریخی بیلند گناباد
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :