• design of laser micromachined single crystal 6h–sic diaphragms for high-temperature micro-electro-mechanical-system pressure sensors

    نویسندگان :
    کلمات کلیدی :
    جزئیات بیشتر مقاله
    • تاریخ ارائه: 1390/01/01
    • تاریخ انتشار در تی پی بین: 1390/01/01
    • تعداد بازدید: 410
    • تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
    • شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
    design of laser micromachined single crystal 6h–sic diaphragms for high-temperature micro-electro-mechanical-system pressure sensors 
     
     a 248-nm, 23-ns pulsed excimer laser was used to micromachine 50 μm thick diaphragms in 6h–sic wafers. the diaphragms were then subjected to high-pressure (0.7–7 mpa) and high temperature (500 k) tests to obtain the pressure-deflection curves. a finite element model was used to predict the stresses and displacements as a function of temperature and pressure. model data is in good agreement with experiments. the stresses, strains and displacements were determined in order to facilitate the design of high-temperature micro-electro-mechanical-system pressure sensors.

سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :

با انتخاب دکمه ثبت پرسش، موافقت خود را با قوانین انتشار محتوا در وبسایت تی پی بین اعلام می کنم
مقالات جدیدترین ژورنال ها