سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی تک غشایی دو مُدی

در این مقاله دو سنسور فشار میکروالکترومکانیکی مبتنی بر تکنولژی mems گزارش می شود. ابعاد این ساختارها برابر 400μm*20μm*20μm است. اما ابعاد غشاهای آن برای تولید مُد موجی برابر  200μm*20μm*2μm  می باشد به عبارتی ضخامت غشا2μm  است. مُد موجی سنسور دو غشایی تحت اعمال فشار0-600mpa  جابجایی فرکانسی 2/18 mhz را دارا می باشد اما سنسور فشار تک غشایی میکروالکترومکانیکی تحت همان اعمال فشار جابجایی فرکانسی معادل 2/75 mhz  را دارد. فرکانس ارتعاش مُد موجی بیست و ششم در سنسور فشار میکرو الکترومکانیکی تک غشایی 120/99 mhz و در سنسور فشار دو غشایی 118/29 mhz است. این سنسورها در نرم افزار ansys طراحی و شبیه سازی شده اند.