-
طراحی و شبیه سازی سنسور فشار تشدیدی میکروالکترومکانیکی سه غشایی
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1395/11/05
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1395/11/05
- تعداد بازدید: 439
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
در این مقاله یک سنسور فشار تشدیدی سه غشایی که در مُد موجی ارتعاش می کند گزارش می شود. این سنسور از جنس سیلیکون بوده و براساس تکنولوژی mems طراحی شده است. مُد موجی نسبت به اعمال فشار حساس بوده و براساس فشار اعمالی به آن فرکانس ارتعاش اش جابجا می شود. ابعاد کلی ساختار سنسور سه غشایی400 μm×20 μm×20 μm ، ابعاد سه غشاء200μm×2 μm ×20 μm و ابعاد تیر نگهدارنده 20μm × 1μm ×1 μm در نظر گرفته شده است. میزان جابجایی فرکانسی برای سه غشایی بدون تیر نگهدارنده برای مُد دهم از 5.0 مگا هرتز کمتر می باشد. در فرکانس تشدید101 mhz سنسور سه غشایی بدون تیر نگهدارنده، دوغشاء کناری جابجایی برابر2/8 mhz و غشاء وسط3/4 mhz جابجایی فرکانسی تحت اعمال فشار دارد.
حوزه های تحت پوشش رویداد
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
بررسی اثرات برهم کنش خاک – گیاه روی افزایش نشست و مکش ماتریسی در محیط های متخلخل چند فازی به روش اجزای محدود
-
بررسی تاثیر آموزش مبتنی بر مدل مراحل تغییر در پیشگیری از مصرف مواد مخدر در کارگران پتروشیمی
-
ارزیابی و مقایسه میزان تاثیر روش های میخ کوبی و ریزشمع در پایداری شیروانی های خاکی
-
مطالعه میزان فعالیت آنتی اکسیدانی و میزان پروتئین در میوه ها و برگ های دو رقم زیتون (ارقام زرد و روغنی)
-
fc72 and fc87 nucleate boiling inside a narrow horizontal space
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
نقش نما و جداره ها در منظر شهری با تاکید بر زیبایی شناسی محیط
-
تأثیر ساختار مالکیت بر رابطه کیفیت اطلاعات مالی و کارایی سرمایه گذاری
-
application of nor sand constitutive model in a highway fill embankment slope stability failure study
-
role of carbon nanotubes as energy storage materials
-
laser drilling of small holes in different kinds of concrete
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :