-
quantitative comparison between dislocation densities in offcut 4h-sic wafers measured using synchrotron x-ray topography and molten koh etching
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 914
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
molten koh etching and x-ray topography have been well established as two of the major characterization techniques used for observing as well as analyzing the various crystallographic defects in both substrates and homoepitaxial layers of silicon carbide. regarding assessment of dislocation density in commercial wafers, though the two techniques show good consistency in threading dislocation density analysis, significant discrepancy is found in the case of basal plane dislocations (bpds). in this paper we compare measurements of bpd densities in 4-inch 4h-sic commercial wafers assessed using both etching and topography methods. the ratio of the bpd density calculated from topographic images to that from etch pits is estimated to be larger than 1/sinθ, where θ is the offcut angle of the wafer. based on the orientations of the defects in the wafers, a theoretical model is put forward to explain this disparity and two main sources of errors in assessing the bpd density using chemical etching are discussed.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
سنجش میزان رضایت ساکنین از شاخص های کمی و کیفی مسکن مهر (نمونه موری: مسکن مهر شهر خرم آباد)
-
تاملی نو در مبانی فقهی وجوب حکم حجاب بانوان
-
تعیین پیکربندی بهینه میراگرهای فلزی در قاب فولادی با استفاده از روش تحلیل زمان دوام
-
energy bound for sign changing solutions of an asymptotically linear elliptic equation in rn
-
aggregation of nanoparticles in high ionic strength suspensions: effect of hamaker constant and particle concentration
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
ارزیابی تأثیر ارتباطات سازمانی اثربخش بر بهبود خلاقیت سازمانی و شکل گیری همدلی سازمانی
-
استفاده صلح آمیز از انرژی هسته ای از منظر حقوق بین الملل با تاکید بر بیانات رهبری
-
کاربرد ابزار هوش مصنوعی در پیش بینی مصرف انرژی ساختمان
-
تأثیر تمرینات پیلاتس بر نیمرخ لیپیدی زنان غیر فعال دارای اضافه وزن
-
electrochemical sensors; types and applications in the food industry
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :