-
quantitative comparison between dislocation densities in offcut 4h-sic wafers measured using synchrotron x-ray topography and molten koh etching
جزئیات بیشتر مقاله- تاریخ ارائه: 1392/07/24
- تاریخ انتشار در تی پی بین: 1392/07/24
- تعداد بازدید: 917
- تعداد پرسش و پاسخ ها: 0
- شماره تماس دبیرخانه رویداد: -
molten koh etching and x-ray topography have been well established as two of the major characterization techniques used for observing as well as analyzing the various crystallographic defects in both substrates and homoepitaxial layers of silicon carbide. regarding assessment of dislocation density in commercial wafers, though the two techniques show good consistency in threading dislocation density analysis, significant discrepancy is found in the case of basal plane dislocations (bpds). in this paper we compare measurements of bpd densities in 4-inch 4h-sic commercial wafers assessed using both etching and topography methods. the ratio of the bpd density calculated from topographic images to that from etch pits is estimated to be larger than 1/sinθ, where θ is the offcut angle of the wafer. based on the orientations of the defects in the wafers, a theoretical model is put forward to explain this disparity and two main sources of errors in assessing the bpd density using chemical etching are discussed.
مقالات جدیدترین رویدادها
-
استفاده از تحلیل اهمیت-عملکرد در ارائه الگوی مدیریت خلاقیت سازمانی و ارائه راهکار جهت بهبود
-
بررسی تاثیر ارزش وجوه نقد مازاد بر ساختار سرمایه شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر سطح افشای ریسک بر قرارداد بدهی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
بررسی تأثیر رتبه بندی اعتباری مبتنی بر مدل امتیاز بازار نوظهور بر نقد شوندگی سهام با تأکید بر خصوصی سازی شرکت ها
-
تأثیر آمیخته بازاریابی پوشاک ایرانی بر تصویر ذهنی مشتری پوشاک ایرانی (هاکوپیان)
-
بررسی اثرات رشد نامتوازن شهری بر عوامل زیست محیطی
-
رضایت بیماران از خدمات درمانی ارائه شده در مراکز آموزشی - درمانی قزوین
-
تشدید فرومغناطیسی لایه نازک ni80fe20
-
تبیین مدل رفتار نوآورانه کارکنان فدراسیون های ورزشی ایران
-
ارزیابی تعدادی از آئین نامه های موجود در زمینه طراحی کانال دسترسی بندر و مطالعه موردی
مقالات جدیدترین ژورنال ها
-
مدیریت و بررسی افسردگی دانش آموزان دختر مقطع متوسطه دوم در دروان کرونا در شهرستان دزفول
-
مدیریت و بررسی خرد سیاسی در اندیشه ی فردوسی در ادب ایران
-
واکاوی و مدیریت توصیفی قلمدان(جاکلیدی)ضریح در موزه آستان قدس رضوی
-
بررسی تاثیر خلاقیت، دانش و انگیزه کارکنان بر پیشنهادات نوآورانه کارکنان ( مورد مطالعه: هتل های 3 و 4 ستاره استان کرمان)
-
بررسی تاثیر کیفیت سیستم های اطلاعاتی بر تصمیم گیری موفق در شرکتهای تولیدی استان اصفهان (مورد مطالعه: مدیران شرکتهای تولیدی استان اصفهان)
-
بررسی قانونی جایگاه آموزش و پرورش و تعلیم و تربیت در تولید علم در جامعه
-
ارتباط بین رهبری تحول گرا و عملکرد شغلی مطالعه موردی (کارکنان بیمارستان کاشانی شهرکرد)
-
بررسی رابطه بین گزارشگری پایداری شرکتی بر حاکمیت شرکتی شرکت های پذیرفته شده در بورس اوراق بهادار تهران
-
نقش فضای باز، طبیعت و منظر در ارتقا کیفیت آموزشی مدارس (تحلیل کارکردی نظریه بازسازی تمرکز ذهنی در معماری منظر)
-
determination of heavy metal pollution products, vegetable gardens ardabil
سوال خود را در مورد این مقاله مطرح نمایید :