تاثیر بازپخت بر خصوصیات ساختاری و اپتیکی لایه های نازک zno و azo

لایه های نازک zno و azo(al:zno) بوسیله کندوپاش rf فعال بر روی زیرلایه های کوارتز تهیه شد. لایه ها بعد از تهیه در دماهای مختلف تحت گاز آرگون بازپخت گردید. وجود آلومنیوم در ساختار zno باعث تغییر خصوصیات بلوری آنها شد. ساختار کریستالی، اندازه میانگین ذرات و توپولوژی همه لایه ها با بازپخت بهبود یافت. شفاف ترین لایه azo بازپخت شده در 500 درجه سیلسیوس بود. همچنین بازپخت باعث کاهش باندگپ اپتیکی لایه های zno از 3.31 به 3.26 الکترون ولت شد و برای لایه های azo از 4 به 3.4 الکترون ولت شد.